微波真空干燥設備是微波能技術與真空技術相結合的一種節能型干燥設備，它兼備了微波設備及真空干燥設備的一系列優點，具有干燥產量高、質量好，加工成本低等優點。工業化生產中，不能在高溫條件下進行干燥處理的，例如一些藥品、化學制品、營養食品以及人參、鹿茸等高檔中草藥材，為了保證產品質量，其干燥處理必須在低于100℃或在室溫的條件下進行，在0.073大氣壓（7.37kpa）下，水的沸點是40℃。所以，在這種狀態下，干燥溫度會更低，干燥速度會更快。

微波真空干燥機可以用于各種中藥材的干燥，可以烘干的種類有：羅漢果、蟲草、竹筍、黃連、當歸、貝母、天麻、金銀花、丹參、元胡、番紅花、人參、西洋參、黃芩、甘草、北沙參、枸杞、桔梗、紅花、芍藥、牡丹、山茱萸、地黃、金蓮花、杜仲、薏苡、山藥、銀杏、五倍子、豬苓、黃芪、金蕎麥、肉蓯蓉等。

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