微波在真空狀態下，可處理溫度高于40℃（有時甚至在15℃）時就會變質或降解的物料，真空干燥箱只能通過熱傳導，通常沒有對流加熱，干燥時間很長。微波真空干燥的產品有水果濃汁、茶粉、酶、蔬菜（蘑菇、蒜、大豆等），操作費用介于噴霧和冷凍干燥之間。在這些系統中，物料通常為膏糊狀物料，鋪放在傳送帶上，沿特殊制造的隧道（真空度為133.3~2666Pa）穿過，形成泡狀物。復水性能好。
小型食品殺菌設備是一種物理殺菌方法，它不需要添加化學防腐劑就能夠殺滅細菌、霉菌和蟲卵，以及病毒等有害人體的微生物，它在殺滅有害微生物過程中，不會對食品殘留毒性或放射性物質的污染，安全無害。也不會改變食品的色香味和營養成分。
如用微波加熱的方法將蔬菜干燥成濕含量低于20%的“干菜”，可比傳統方法效率高十多倍。這種方法不僅適用于蔬菜類的干燥，更適合于海藻類食品的干燥。在顯微鏡下觀察微波干燥過的蔬菜，可發現其組織與新鮮蔬菜的接近程度僅次于冷凍干燥的產品，但其干燥時間比冷凍干燥短。微波也可對油炸類產品進行最終干燥，不僅節省油，還可得到含油率低的清淡味美的食品。
微生物的各種高分子極性基，產生激烈的回轉與振動，使蛋白質以及核酸等產生變異，從而殺死細菌。一般情況下，霉菌、酵母和一般細菌加熱至70~80℃就能殺死，若用微波1min就能達到殺菌的目的。對于霉菌的孢子，如青霉菌的孢子要在68~71℃經過20min的常規滅菌才能殺死，而用微波在68~71℃經過2min便于得到滿意的結果。如用微波對“月餅”進行殺菌、防霉和保鮮，取得了良好效果，再也不用進口的“保鮮劑”。對大豆粉的干燥滅菌、對雞精的干燥滅菌、對紅心地瓜干燥滅菌等均取得了很好效果。
