瑞士 sawatec HP-150 熱版機
電爐 HP - 150
精密軟硬烘烤
該熱板HP-150是為典型的軟烘焙和硬烘焙工藝的巖性,在MEMS和類似的應用。默認情況下,溫度范圍設計為250℃以下。設定的溫度和溫度分布具有較窄的邊界,這意味著可以達到較高的涂層質量。HP系列產品具有較高的均勻性和高精度的工藝重復性,令人信服。可用于直徑150mm以下,大厚度5mm的襯底。
熱板易于平整,防止光刻膠通過真空手動固定基板的放電手動加載和卸載基板。
性能數據
溫度范圍:環境溫度250℃以下溫度精度:100℃時+/- 1℃
額外的功能(選項)
氮氣手動沖洗,不氧化
簡單的設置工具,為優化對齊的熱板
功能(基本配置)
溫度控制采用數字目標值和實際值顯示,溫度自動限位開關,無過熱現象
熱板采用安全玻璃,清洗方便
瑞士 sawatec HP-150 熱版機
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