AWM3000系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器
AWM3000系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器

常用型號：

AWM3100V

AWM3150V

AWM3200V

AWM3300V

描述 ：

與 AWM2000 系列類似，AWM3000 系列也通過雙惠斯頓電橋控制氣流測量。該系列產(chǎn)品有放大，因此可提高增益和調(diào)節(jié)傳感器輸出電壓偏移。傳感器內(nèi)裝配的放大電路。此外，該系列傳感器內(nèi)還裝配有發(fā)熱控制電路和傳感橋供電電路

特點

● 激光校準，互換性更高

● 測量流速可達 1.0 SLPM

● 微差壓傳感

注 ：

1. 信號調(diào)理電路的初始預熱時間長為 1 分鐘。

2. 輸出電壓隨電源電壓成正比變化。

3. 差壓器件的溫漂主要由氣體濃度隨溫度變化而引起。見應用指南 1。

4. 為避免損壞，大允許流量變化率為 5 SLPM/1 sec。