1.半導體不銹鋼螺桿真空泵的應用范圍包括真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設備、汽車制造業(yè)、集中真空抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空除氣、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。該設備具有特種涂層的螺桿轉(zhuǎn)子和泵腔,可以抽除可凝氣體,有毒有害氣體。內(nèi)部零件可進行防腐涂層處理,可適用于化工制藥行業(yè)的特殊要求。
2.半導體不銹鋼螺桿真空泵的特征特點:
(1)結(jié)構(gòu)簡單緊湊:對旋向相反的螺桿、泵體、端蓋、密封件等部件組成,結(jié)構(gòu)簡單。
(2)抽氣腔原件無摩擦:螺桿和泵體之間均有一定間隙。
(3)使用壽命長:由于腔內(nèi)部部件之間不摩擦,潤滑油在非氣體過流部分部件中循環(huán)。
(4)真空度高:單臺螺桿干式真空泵可替代三級羅茨泵水環(huán)真空機組。
(5)無污染:無需任何工作介質(zhì),因此無油污染,無污水。
(6)噪音低:一般情況下為80分貝左右。
(7)適宜抽可凝性氣體(如水蒸氣等)、含粉塵的氣體。
(8)從大氣抽*限壓力5Pa,只要一臺泵就能解決。