高溫爐以進口硅碳棒為發(fā)熱元件,額定溫度1400℃,采用S型單鉑銠熱電偶測溫和日本“島電”溫控儀自動控溫,具有較高的控溫精度(±1℃)。此外該爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作,大大提高了其使用范圍。該爐具有使用溫度高、高精度控溫、等優(yōu)點。爐管材質(zhì)采用優(yōu)質(zhì)耐高溫的剛玉管,專門設(shè)計用于精密機械零件熱處理、納米結(jié)構(gòu)的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導電率測試、化工材料、陶瓷電容器氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)等。管式爐采用高鋁纖維制品隔熱、保溫,優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛,日本進口單回路智能32段(40段)程序溫度控制儀控制,PID參數(shù)自整定,精確實現(xiàn)溫度的控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能環(huán)保、使用溫度高、壽命長、發(fā)熱件更換方便、操作簡單、維修方便等特點,是理想的科研設(shè)備,其性能達到國外同類產(chǎn)品的標準。
二.技術(shù)指標:
設(shè)備型號:GSL—150—1
溫度: 1400℃
工作溫度: 1350℃
加熱區(qū)長度:300mm
恒溫區(qū): 150 mm
溫度均勻性: ±1℃
爐管實際尺寸: Φ50(外徑)×1000mm (剛玉管)
爐膛材料: 莫來石纖維制品
控制溫區(qū)個數(shù): 1個,S分度熱偶
控溫精度: ≦±1℃,單回路智能32段(40段)程序儀表控制,PID參數(shù)自整定
加熱元件: 優(yōu)質(zhì)硅碳棒加熱
加熱功率: 4Kw
空爐保溫功率:約2Kw
建議升溫速率: 3℃~10℃/min
輸入動力電源: 三相電源,50HZ ,380V±10%;6KW
爐體表面溫升: ≤60℃。
尺寸: 550 x 380 x 520 mm
凈重: 50 Kg
保修期: 整機保修一年,相關(guān)耗材除外
三.標準配件:
名稱 | 型號 | 數(shù)量 | |
硅碳棒 | 直棒 | 4根 | |
不銹鋼密封系統(tǒng) | 隨爐管尺寸配套 | 1套 | |
S型單鉑銠熱電偶 | 150mm | 1只 | |
氧化鋁剛玉管 | 客戶可選φ40、φ50、φ60、φ70、φ100 | 1根 | |
管堵 | 隨爐管尺寸配套 | 4只 | |
不銹鋼保護套 | 已安裝與爐體上 | 1套 | |
硅膠密封圈 | 隨爐管尺寸配套 | 6只 | |
耐溫手套 | 1副 |
四.密封結(jié)構(gòu)
(見氣氛管式爐進出氣管口結(jié)構(gòu)圖)
五.可選配件
(一).真空泵
1.產(chǎn)品型號:GZK-103D
該系統(tǒng)由前級無油泵,后級分子泵,真空傳感器和電子控制系統(tǒng)和LED液晶顯示組成,此系統(tǒng)是用來抽吸或壓縮空氣和其它無腐蝕性、不溶于水、不含有固體顆粒的氣體,以便在封閉容器中形成真空和壓力,吸入氣體中允許混有少量液體。它被廣泛用于機械、無油化工、制藥、食品、制糖工業(yè)及電子領(lǐng)域。由于在工作過程中,氣體的壓縮是等溫的,所以在壓縮和抽吸易燃、易爆氣體時,不易發(fā)生危險,所以其應用更加廣泛。
另外該系統(tǒng)采用德國產(chǎn)分子泵作為主工作泵,采用德國的機械泵作為分子泵前級泵,機械泵內(nèi)部已有有隔斷放氣裝置為非標準系統(tǒng),它主要由連接管道,110分子泵,機械泵構(gòu)成,通過標準配件連接,全部采用不銹鋼材料,全部電拋光處理。系統(tǒng)設(shè)計有預抽功能。
(二).產(chǎn)品名稱:多路浮子控制供氣系統(tǒng)
1.主要特點:本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用,而不會造 成大氣進入加熱爐管。 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證
2.工作原理:
由氣體鋼瓶輸入兩種氣體,形成A,B兩種組份,經(jīng)過減壓閥減壓,輸出所需流量的氣體,再通過調(diào)節(jié)每一組分的體積流量,輸出預定比例關(guān)系的混合氣體,達到加熱爐所需求得氣氛。三個連接頭可連接二或三只氣體鋼瓶(只能同時啟用二個鋼瓶),如:H2/AR,H2/N2,O2/N2等。
嚴禁氫氣和氧氣同時供氣,保證安全!
將配比器進口的三個連接頭直接連接到15MPa的供氣鋼瓶上,其中之一是氫氣專用連接頭,選擇連接好兩種氣體,按順序開啟供氣鋼瓶上閥門、配比器上對應高壓截止閥及三只流量計旋鈕,再旋轉(zhuǎn)減壓閥旋鈕增大氣體壓力,調(diào)節(jié)兩種氣體流量,輸出所需要的壓力和流量。
本供氣(混氣)系統(tǒng)可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng),尤其方便多種氣體的切換混合使用;氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,操作方便;每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全可靠!本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng),氣體保護燒結(jié),氣體保護退火等。