研磨拋光劑是不同于固結磨具，涂附磨具的另一類“磨具”，磨料在分散劑中均勻、游離分布。研磨拋光劑可分為研磨劑和拋光液。一般研磨劑用于粗磨，拋光液用于精密磨削。拋光液通常用于研磨劑的下道工序，行業中也把拋光液稱為研磨劑或把研磨劑稱為拋光液的。

　　研磨劑按其作用機理分：機械作用研磨劑，化學機械作用研磨劑。

　　機械作用的研磨劑：以金剛石、B4C等為磨料，通過添加分散劑等方式分散到液體介質中，從而形成具有磨削作用的液體，稱為金剛石研磨劑、碳化硼研磨劑等。磨料在分散液中游離分布，利用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理，實現工件的研磨、減薄。根據磨料的表面、顆粒大小及研磨劑配置、研磨設備穩定性等情況，研磨完成后，工件表面容易留下或大或小的劃痕。所以，機械作用的研磨劑一般用于粗磨，后續還需要精密研磨拋光。

　　化學機械作用研磨劑：化學機械作用研磨劑利用了磨損中的“軟磨硬”原理，即用較軟的材料來進行拋光以實現高質量的拋光表面，是機械削磨和化學腐蝕的組合技術，它借助超微粒子的研磨作用和化學腐蝕作用在被研磨的介質表面形成光潔平坦表面。所以化學機械作用研磨劑又稱為化學機械拋光液(Chemical Mechanical Polishing,簡稱CMP)。在一定壓力及拋光漿料存在下，被拋光工件相對于拋光墊作相對運動，借助于納米粒子的研磨作用與氧化劑的腐蝕作用之間的有機結合，在被研磨的工件表面形成光潔表面