產(chǎn)品名稱高真空CVD管式爐
產(chǎn)品型號TN-G1100ZC
產(chǎn)品簡介
主要用于電子陶瓷產(chǎn)品的預(yù)燒、燒結(jié)、鍍膜、高溫?zé)峤獾蜏爻练e(CVD)工藝等
TN-G1100ZC型高真空CVD管式爐
該儀器是一個三溫區(qū)真空管式爐主要用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等試驗和小批量生產(chǎn)之用。主要用于電子陶瓷產(chǎn)品的預(yù)燒、燒結(jié)、鍍膜、高溫?zé)峤獾蜏爻练e(CVD)工藝等。
儀器的控制系統(tǒng)采用產(chǎn)品,具有操作容易,安全可靠,控溫精度高(專家PID控制),保溫效果好,溫度范圍大,爐膛溫度均勻性高,溫區(qū)多,可通氣泵,抽真空等特點。
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產(chǎn)品名稱
TN-G1100ZC型高真空CVD管式爐
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產(chǎn)品型號
TN-G1100ZC-503 爐膛尺寸:直徑50x300mm
TN-G1100ZC-603 爐膛尺寸:直徑60x300mm
TN-G1100ZC-803 爐膛尺寸:直徑80x300mm
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爐門結(jié)構(gòu)
開啟式
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上限溫度
1200℃
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工作溫度
≤1100℃
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加熱溫區(qū)
三溫區(qū)
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溫區(qū)長度
220mm
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恒溫區(qū)長
100mm
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爐管材質(zhì)
301S不銹鋼管(可選剛玉管)
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密封方式
不銹鋼真空法蘭
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氣密性
真空法蘭和石英爐管的氣密性可達(dá)4.03x10-3Pa
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控溫方式
智能化30段可編程控制,自動控溫
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控溫精度
±1℃
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加熱速率
≤20℃
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加熱元件
硅碳棒
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熱電偶
K型熱電偶
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爐膛材料
進(jìn)口氧化鋁陶瓷纖維
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功率
2.5Kw
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電壓
220V 50Hz-60Hz
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系統(tǒng)真空
5~10Pa(需要達(dá)到其它真空度時,需選配不同的抽真空裝置)
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售后服務(wù)
12個月質(zhì)保,終身保修
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