工業(yè)凈化烘箱訂做-循環(huán)烘箱方案
適用于在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況
擁有多重超溫保護(hù)系統(tǒng)
1. 溫控器停止加熱，無(wú)加熱信號(hào)輸出。
2. 加熱系統(tǒng)電路的交流接觸器會(huì)跳掉，停止加熱管供電。
3. 擁有單套溫度監(jiān)控傳感器(獨(dú)立限溫保護(hù)器），監(jiān)控烘箱工作室溫度，當(dāng)?shù)竭_(dá)警戒值，會(huì)強(qiáng)行關(guān)閉加熱系統(tǒng)。
擁有多重電器特點(diǎn)
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
精準(zhǔn)控時(shí)功能
采用LED數(shù)字型時(shí)間計(jì)時(shí)器，計(jì)時(shí)0~9999H/M/S。
設(shè)定溫度→設(shè)定保溫時(shí)間→時(shí)間到結(jié)束END提示-自動(dòng)示切斷加熱-警報(bào)完成指示。
1、溫度從10º至300º可任意調(diào)節(jié)選定工作溫度，并借助箱內(nèi)溫控系統(tǒng)自動(dòng)恒溫。它適用與烘焙，工業(yè)烤箱熱處理或其他加熱用，也是實(shí)驗(yàn)室常備儀器。
2、工作溫度可由室溫起至很高溫度止，在此范圍內(nèi)可任意選定工作溫度，選定后可借箱內(nèi)自動(dòng)控制系統(tǒng)使溫度恒溫。
3、有電動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)，促使室內(nèi)熱空氣機(jī)械對(duì)流，使室內(nèi)溫度更為均勻。
4、恒溫烤箱結(jié)構(gòu)精密，控溫靈敏準(zhǔn)確，操作簡(jiǎn)單。
5、超溫報(bào)警并自動(dòng)切斷加熱電源。
6、有因停電，死機(jī)狀態(tài)造成數(shù)據(jù)丟失而保護(hù)的參數(shù)記憶，來(lái)電恢復(fù)功能
箱內(nèi)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
采用進(jìn)口六通道溫度記錄儀，彩色屏幕實(shí)時(shí)精準(zhǔn)顯示箱體內(nèi)部6點(diǎn)溫度及曲線，便于監(jiān)控箱內(nèi)溫度；自動(dòng)存儲(chǔ)溫度數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)追溯，在線讀取，支持U盤導(dǎo)出功能。
一、 本公司提供的售后服務(wù)方式
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3. 維修服務(wù)：維修期內(nèi)的產(chǎn)品,若出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，*免費(fèi)保修。
二、 用戶自購(gòu)買日起，在正常使用情況下產(chǎn)品若出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題：
1. 一年內(nèi)免費(fèi)保修，提供技術(shù)支持。
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注意：
1. 購(gòu)買日以送貨單日期為準(zhǔn)(送貨單遺失以生產(chǎn)日期為準(zhǔn))。
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