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上海CVD氣相沉積爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱蘇州力碳新能源發(fā)展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/9/23 13:05:56
  • 訪問次數(shù)158
產(chǎn)品標簽:

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隧道烘箱
簡介:SL-CVD是一款PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,80mm OD1500mm L的管式爐,通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機械泵機組,可用于生長納米或石墨烯材料。
上海CVD氣相沉積爐 產(chǎn)品信息

設備名稱

CVD氣相沉積爐(2020.11.3——升利實驗室審核)

主要特點

· 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低試驗溫度。

· 溫度可達1200℃。

· 雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。

·? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

· 開門斷電,提高實驗安全性。

· 客戶可根據(jù)需求選購雙溫區(qū)沉積爐。

· 可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如  碳、Zno納米管或納米線及單層石墨烯等。

基本參數(shù)

· 溫度: 1200℃(≤30min)  工作溫度: 1100℃

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 電壓:220V

· 額定功率:3KW

· 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管

爐管尺寸

· Φ40*1200mm

· Φ60*1500mm

· Φ80*1500mm

· Φ60*1800mm

· Φ80*1800mm

· Φ100*1200mm

真空系統(tǒng)

· 采用TRP-12的雙旋真空泵;

· KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

· 真空度可達10-2Torr。

質(zhì)保

· 一年保修,終身技術支持。
· 特別提示:

     1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

     2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


關鍵詞:真空泵
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