U23SL高純減壓器概述:
U23SL系列減壓器適用于大流量使用,特別適用于高純低壓系統。膜片和閥體的密封采用了硬密封的設計,降低泄漏率,同時提高了安全性和使用壽命。
進口U23SL高純減壓器結構特點:
316L不銹鋼母體
膜片式硬密封,泄漏率低
可采用面板或后座安裝
壓力表標準連接:1/4"FSR(M)
可選:1/4"FSR(F)
內部電解拋光
高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導體產業
使用壽命長
通過氦氣測試
進口U23SL高純減壓器材質:
母體:316L
閥座:PCTFE,Vespel®
膜片:316L
上蓋:316
進口U23SL高純減壓器功能特性:
流量:Cv=1.8
母體泄漏率:2x10-8atm cc/sec He
閥座泄漏率:4x10-8atm cc/sec He
設計驗證壓力 額定壓力的150%
設計*壓力 額定壓力的400%
進口U23SL高純減壓器工作條件:
*的入口壓力:500psi,3000psi
出口壓力:0~25psi、0~50psi、0~100psi、0~150psi
溫度:-40℉~+165℉(-40℃~+74℃)
進口U23SL高純減壓器流道表面:
標準:Ra 20μin
可選:Ra 10μin
進口U23SL高純減壓器內部容積