天寒超低溫深冷泵-水汽冷凝器
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
(提供polycold冷媒及維修)
水汽捕集泵 又稱(chēng):POLYCOLD、快速循環(huán)水汽深冷泵
應(yīng)用原理:
在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽,
但其抽除殘余氣體的能力低,時(shí)間長(zhǎng),而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。
深冷泵則是解決這類(lèi)問(wèn)題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理:將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤(pán)管,放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口,通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng),
迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間(可縮短60-90%的抽氣時(shí)間)、
獲得潔凈的真空環(huán)境(真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí),達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中,根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類(lèi):
1、水汽捕集器
它的制冷盤(pán)管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。
適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。盤(pán)管需要有加熱除霜裝置,使盤(pán)管每次開(kāi)門(mén)之前恢復(fù)到常溫,
避免低溫盤(pán)管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜,影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴(kuò)散泵的泵口,高閥以下,它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油,同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。
由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無(wú)需除霜裝置。
根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝。
北京天地精儀公司研發(fā)生產(chǎn)的-135℃深冷水汽捕集泵,采用單臺(tái)壓縮機(jī)、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式、
進(jìn)口壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?;旌闲椭评鋭┥a(chǎn),替代液氮,節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、
溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn),其性能指標(biāo)在國(guó)內(nèi)處于地位,達(dá)到甚至超過(guò)*水平。