布魯克 DektakXT 臺階儀(探針式表面輪廓儀)是一項創(chuàng)新性的設(shè)計,可以提供更高的重復(fù)性和分辨率,測量重復(fù)性可以達(dá)到5?。臺階儀這項性能的提高達(dá)到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的,更加鞏固了其行業(yè)地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量,通過在研究工作中的廣泛使用,DektakXT一定能夠做到功能更強大,操作更簡易,檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT臺階儀(探針式表面輪廓儀)的技術(shù)突破,使納米尺度的表面輪廓測量成為可能,從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件,半導(dǎo)體,電池,高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。
利用的直接掃描平臺,DektakXT通過減少從得到原始數(shù)據(jù)到扣除背底噪音所需要的時間,來提高掃描效率。這一改進,大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對于表面應(yīng)力長程掃描的掃描速度。在保證質(zhì)量和重復(fù)性的前提下,可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker 64-Bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作系統(tǒng)Vision64,它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時的數(shù)據(jù)分析處理效率。Vision64還具有直觀的用戶界面,簡化了實驗操作設(shè)置,可以自動完成多掃描模式,使很多枯燥繁復(fù)的實驗操作變得更快速簡潔。
與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上簡潔的用戶界面,具備智能結(jié)構(gòu),可視化的使用流程,以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿足用戶的各種使用要求,快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。
DektakXT 技術(shù)參數(shù)
—單傳感器設(shè)計提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍