FT-391系列手持式四探針方阻測試儀詳情介紹
FT-391 Series handheld four-probe resistance tester
概述Overview：
參照硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》；GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》；GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》，
采集集成電路恒流源系統，可充電式電源系統，上下限設定.
功能介紹Function introduction：
手持式外型結構，適用于車間生產、品管抽檢，外出攜帶測量的場所；也適用于中小型半導體材料生產企業.
參數資料 Parameters：
| 規格型號Specification model | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
| 1.方塊電阻范圍sheet resistance | 10～2.00×102Ω/□ | 10～2.00×103Ω/□ | 10～2.00×104Ω/□ |
| 2.電阻率范圍resistivity | 1～2×103Ω-cm | 1～2×104Ω-cm | 1～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率resolution | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
| 4.顯示讀數display | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. | ||
| 5.測試方式test mode | 單電測量single electrical measurement | ||
| 6.工作電源working power | 5V.1000mA | ||
| 7. 誤差errors | ≤4.5%（標準樣片結果standard samples） | ||
| 8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規格; 選配4：探針材質：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle.gilded copper hemispherical needles. | ||
FT-392 Series hand-held four-probe tester
參數資料
| 規格型號specification model | FT-392A | FT-392B | FT-392C |
| 1.方塊電阻范圍sheet resistance | 0.1～2.00×102Ω/□ | 0.1～2.00×103Ω/□ | 0.1～2.00×104Ω/□ |
| 2.電阻率范圍resistivity range | 0.01～2×103Ω-cm | 0.01～2×104Ω-cm | 0.01～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率resolution | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
| 4.顯示讀數display | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
| 5.測試方式test mode | 單電測量/ single electrical measurement | ||
| 6.工作電源working power | 5V.1000mA | ||
| 7. 誤差errors | ≤4.5%（標準樣片結果standard samples） | ||
| 8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規格; 選配4：探針材質：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. | ||
FT-393系列手持式方塊電阻測試儀
FT-393 Series of hand-held Square resistance tester
技術參數資料
| 規格型號specification model | FT-393A | FT-393B | FT-393C |
| 1.方塊電阻范圍sheet resistance | 0.01～2.00×102Ω/□ | 0.01～2.00×103Ω/□ | 0.01～2.00×104Ω/□ |
| 2.電阻率范圍resistivity range | 0.001～2×103Ω-cm | 0.001～2×104Ω-cm | 0.001～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率resolution | 0.001Ω | 0.001Ω | 0.001Ω |
| 4.顯示讀數display | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
| 5.測試方式test mode | 單電測量single electrical measurement | ||
| 6.工作電源working power | 5V.1000mA | ||
| 7.誤差errors | ≤4.5%（標準樣片結果standard samples） | ||
| 8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規格; 選配4：探針材質：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. | ||
FT-394系列手持式四探針電阻率測試儀
FT-394 Series hand-held four-probe resistivity tester
技術參數資料
| 規格型號model | FT-394A | FT-394B | FT-394C |
| 1.方塊電阻sheet resistance | 0.001～2.00×102Ω/□ | 0.001～2.00×103Ω/□ | 0.001～2.00×104Ω/□ |
| 2.電阻率resistivity range | 0.0001～2×103Ω-cm | 0.0001～2×104Ω-cm | 0.0001～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率resolution | 0.001Ω | 0.001Ω | 0.001Ω |
| 4.顯示讀數display | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
| 5.測試方式test mode | 單電測量single electrical measurement | ||
| 6.工作電源working power | 5V.1000mA | ||
| 7.誤差machine uncertain errors | ≤4.5%（標準樣片結果standard samples） | ||
| 8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規格; 選配4：探針材質：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. | ||
適用范圍Widely used：
1.覆蓋膜;導電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導體材料、薄膜材料方阻測試
2.硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻 半導體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導電薄膜（ITO導電膜玻璃等），金屬膜，導電漆膜，蒸發鋁膜，PCB銅箔膜，
3.EMI涂層等物質的薄層電阻與電阻率 導電性油漆，導電性糊狀物，導電性塑料，導電性橡膠，導電性薄膜，金屬薄膜，
4.抗靜電材料， EMI 防護材料，導電性纖維，導電性陶瓷等，
功能描述Description：
1. 四探針單電測量方法
2. 液晶顯示，自動測量，自動量程，自動系數補償.
3. 集成電路系統、恒流輸出.
4. 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
參照標準：
1.硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》
工作原理和計算公式
1.四探針法測試薄層樣品方阻計算和測試原理如下：
直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據物理基礎和電學原理：
當電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓時計算如下：
1. 開啟電源，預熱5分鐘.
2. 裝配好探頭和測試平臺.
3. 設定所需參數.
4. 測量樣品
5. 導出數據.
1. 自動量程
2. 準確穩定性.
3. 雙電組合測試方法
4. 標準電阻校準儀器
5. 同時顯示電阻、電阻率、電導率數據.
6. 可顯示5位數字.
7. 中、英文界面
部分客戶案例
福建萬龍金剛石工具有限公司
杭州晶鑫鍍膜包裝有限公司
丹東海浩電子科技有限公司
杭州晶鑫鍍膜包裝有限公司
華南理工大學
遠東福斯特新能源有限公司
南方科技大學
福建省泉州萬龍實業有限公司
蘇州環明電子科技有限公司
石家莊軍械學院
天津儀恒達科技有限公司
南昌公瑾科技有限公司
木森林股份有限公司
北京瑞億斯科技有限公司
浙江納沛新材料有限公司
深圳市中科測儀電子科技有限公司
寧波恩邁智能科技有限公司
北京慧遠偉業科技有限公司
中山市廣衛消費設備有限公司
成都萬成科技有限公司
河北德凱鐵路信號器材有限公司
海南冷港科技有限公司
浙江世泰實業有限公司
南昌公瑾科技有限公司
上海蒙健實業有限公司
北京雪迪龍科技股份有限公司
藝奧品成像技術蘇州有限公司
安徽師范大學
廣西興宏源科技有限公司
浙江立德產品技術有限公司
株洲麥格米特電氣有限公責任公
江陰市中興光電實業有限公司
江蘇儀征電子管有限公司
北京思普特科技有限公司
東莞市塑高塑化科技有限公司
赫禎新材料科技（上海）有限公司
服務項目
1.質保：12個月，長期維護.
2.培訓：操作培訓：
電話教學；U盤教學文件；遠程可視溝通；現場教學；說明書教學文件
3.保養和維護：
提供因知保養和維護文件、標識、表格 、保養提醒.
4.驗證文件：
3Q驗證文件、計量證書
5.擴展服務：
延保服務，樣品測試服務，后延服務，儀器租賃服務.
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