日本TOFCO東富科流量控制閥 藥液純水用FCV-C

從外部流量計接收當前流量信息并自動控制設定流量。非常適合控制半導體清洗設備中化學品和純水的流速。

將設定值與外部流量信號進行比較實施反饋控制

使用高性能步進電機對流量進行高精度控制

搭載串行通信功能(MobusRTU方式， *大32臺串聯)

設定流量值方式可選擇(模擬量輸入或串口通信)

高速的控制反應性能(C40型號:約1秒、C60/C80約2秒)

高速的閥體全開動作(C40型號: 約0.3秒、C60/C80約1秒)