效率 | 效率 EN1822 標準 MPPS 效率 |
99.99%@0.3μm | 99.95%(H13) |
99.999%@0.3μm | 99.995%(H14) |
99.9995%@0.12μm | 99.9995%(U15) |
99.99995%@0.12μm | 99.99995%(U16) |
99.999995%@0.12μm | 99.999995%(U17) |