《真空技術真空泵性能測量標準方法第4部分：渦輪分子泵》國家標準征求意見

2024-03-12 15:01:07 來源：儀表網閱讀量：9889

　　近日，由北京中科科儀股份有限公司起草，TC18(全國真空技術標準化技術委員會)歸口的國家標準計劃《真空技術真空泵性能測量標準方法第4部分：渦輪分子泵》征求意見稿已編制完成，現公開征求意見。

　　渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的一種真空泵。具有啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空等優點，廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器、真空鍍膜、半導體制造、航空航天、醫療設備和光學儀器等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　本文件按照GB/T 1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。

　　原有的真空泵標準體系中，對某些種類真空泵性能參數的測量提出了各自的要求，測量裝置和性能測量方法等內容多有重復，且表述不清晰。特定真空泵標準的制定以總體要求為基礎，依據各自的特性來測定性能數據、極限值和特定運行條件。當特定真空泵的測量方法與總體要求存在差異時，以特定標準為準。GB/T 40344《真空技術真空泵性能測量標準方法》旨在從真空泵性能共性和特性的角度提出標準測量方法，即總體要求和特定真空泵標準，擬由六個部分構成。

　　——第 1 部分：總體要求。旨在提供一份用于測量真空泵性能參數的基礎文件，簡化了今后對特定真空泵標準的制定。包含了三種體積流率的測量方法，以及真空泵基礎壓力、壓縮比和臨界前級壓力的測量方法。

　　——第 2 部分：容積真空泵。旨在以總體要求為基礎，對容積真空泵的性能測量標準方法加以補充，包含了容積真空泵的體積流率、基礎壓力、水蒸氣容限、功耗和最低啟動溫度的測量方法。

　　——第 3 部分：機械增壓泵的特定參數。旨在描述機械增壓泵的最大容許壓差、有效壓縮比、零流量壓縮比和溢流閥壓差的測量方法和特殊要求。

　　——第 4 部分：渦輪分子泵。旨在描述了以流量法和小孔法測量體積流率的測量方法和測量裝置，以及最大流量、臨界前級壓力、壓縮比、基礎壓力、振動等參數的測量方法和測量裝置。

　　——第 5 部分：非蒸散型吸氣劑泵。旨在以總體要求為基礎，對非蒸散型吸氣劑泵的性能測量標準方法加以補充。

　　——第 6 部分：低溫真空泵。旨在以總體要求為基礎，對低溫真空泵的性能測量標準方法加以補充。

　　本文件是GB/T 40344《真空技術真空泵性能測量標準方法》的第4部分。

　　本標準是等同采用 ISO 21360-4：2018《Vacuum technology─Standard methods for measuring vacuum-pump performance─ Part 4:Turbomolecular vacuum pumps》

　　本標準是在 GB/T 40344.1 的基礎上，規定了渦輪分子泵的性能測量方法和測量裝置。標準中規定了以流量法和小孔法測量體積流率的步驟和裝置，最大流量、臨界前級壓力、壓縮比、基礎壓力、振動等參數的測量方法和測量裝置。

　　本標準適用于所有規格和型式的渦輪分子泵。包括：帶機械軸承或磁軸承的渦輪分子泵、帶或不帶附加牽引級的或其它轉子抽氣級的渦輪分子泵、帶一個或多個進氣口的渦輪分子泵。

　　本標準的制定進一步推進真空泵產業結構的優化升級，推動我國渦輪分子泵先進裝備制造技術的快速發展和質量提升。本標準的發布實施不僅能規范渦輪分子泵的性能要求，為設計、制造、檢測和應用提供指導和技術依據，規范渦輪分子泵產業的有序發展，促進產業結構調整與優化升級。亦能通過規范渦輪分子泵的性能參數和測量規則，實現國內外渦輪分子泵產品以及應用領域的技術比對，為使用者在綜合考慮國內外產品性能時，提供指導依據。

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