圖爾克傳感器具有結構簡單、靈敏度高、分辨力高，能感受0.01μm甚至更小的位移、無反作用力、動態響應好、能實現非接觸測量、能在惡劣環境下工作等優點，而且隨著新工藝、新材料問世，特別是電子技術的發展，使干擾