Z大放大倍率30萬倍1Kv~30kV加速電壓可選-X,Y(80mm),R(360?),Z(0~30mm),Tilt(-20~90?)5軸全自動控制(AutoDoor-鍵點擊位置移動(定位功能)裝在CCD照相機可觀察艙體內部自帶系統(tǒng)自檢功能(真空度測量功能)可選配多種配件(