食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
Cluster團(tuán)簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備可集成PVD /PECVD /Etch /Plasma Clean / Annealing等工藝模塊。穩(wěn)定可靠的高精度真空機(jī)械手臂，使基片在各腔室之間的高效傳輸。適用于工藝實(shí)驗(yàn)研究、批量器件的制備等。
2、技術(shù)參數(shù)
| 基片規(guī)格 | 可選：4"、6"、8"、12" |
| 工位數(shù) | 可選：4工位、6工位、8工位 |
| 上下料室 | 數(shù)量可選：1個(gè)、2個(gè)（4工位只配置1個(gè)） |
| 料箱裝載量：25片/盒，更多需求可定制 | |
| 可選配功能：基片烘烤、手套箱 | |
| 工藝室類(lèi)型 | 可選：Sputtering/PECVD/Etch/Evaporation/Plasma Clean/Annealing |
| 主泵 | 可選：分子泵、低溫泵 |
| 前級(jí)泵 | 可選：機(jī)械泵、干泵 |
| 極限真空度 | 工藝室：8×10-6Pa（分子泵配置） |
| 上下料室：2Pa （機(jī)械泵配置） | |
| 加熱器 | 600℃，更高溫度可定制 |
| 可選配功能：基片旋轉(zhuǎn)、基片升降 | |
| 工藝氣體 | 各工藝腔體配2路MFC充氣，氣體種類(lèi)可選，更多需求可定制 |
| 冷卻系統(tǒng) | 流量及溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控，互鎖保護(hù) |
| 軟件控制 | 可編輯、儲(chǔ)存多種工藝配方，任意調(diào)用，適用于工藝研究 |
| 具備“一鍵啟動(dòng)式（全自動(dòng)）生產(chǎn)”功能，適用于批量生產(chǎn) | |
| 賬戶(hù)分三級(jí)權(quán)限設(shè)置，提高系統(tǒng)安全性及工藝保密性 | |
| 各種安全互鎖設(shè)計(jì)，防止誤操作 | |
| 其他 | 如有其他特殊需求可定制 |
Cluster團(tuán)簇式半導(dǎo)體工藝設(shè)備
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