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電子晶圓超純水
超純水設備一般采用反滲透作預處理再配上去離子(EDI)裝置,利用反滲透原理,有效去除水中各種鹽份、離子、顆粒,細菌等,有著產水水質穩定、操作簡便、運行費用低、綠色環保無污染、維護方便等優點,能滿足客戶的用水需求。
電子晶圓超純水特點
超純水傳統的制備工藝通常是采用離子交換樹脂進行制取,但采用離子交換樹脂通常需要經常性的進行樹脂再生,即耗費物力又浪費人工,我們公司經過多年實踐,同時結合新的膜分離技術,采用反滲透加離子交換系統(或EDI)相結合研發的各行業用超純水設備,運行可靠。與新工藝相比具有造價低,系統穩定等優點。
電子晶圓超純水應用范圍
1、液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液。
2、晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。
3、集成電路生產中高純水清洗硅片。
4、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路。