目前市場上的平板顯示器、LED加工、印制電路板、微機(jī)電領(lǐng)域、金剛石臺(tái)面上制備金屬薄膜電極、各種光柵、光子晶體等微納光學(xué)元件、生物芯片、光刻制造微針都是屬于光刻膠領(lǐng)域的一部分，在產(chǎn)品加工的過程中產(chǎn)生的大量污水應(yīng)該要用什么設(shè)備進(jìn)行處理呢?

　　光刻膠指的是通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，膠體的溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。

　　這些電子設(shè)備采用的原材料主要有樹脂溶液、光敏劑、溶劑等，光刻膠廢水的主要來源為對(duì)原材料的純化產(chǎn)生的廢水、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢液、清洗設(shè)備產(chǎn)生的廢水。

　　光刻膠的污水屬于硅膠污水中的一種，因此是可以采用電子污水處理設(shè)備就進(jìn)行污水處理，其污水處理的方法可以用：

　　1、物理法：物理法中的格柵主要是用以截阻大塊的呈懸浮或漂浮狀態(tài)的固體污染物，而且還可以將原有的膠狀材料收集起來進(jìn)行回收利用，從而提高材料的利用率，降低成本。

　　2、混凝沉淀法：往污水中加入混凝劑，混凝劑可以使水中的懸浮物以及中膠體物質(zhì)等聚集成大顆粒絮體，在下落的過程中可以加速其沉淀的速度，最后達(dá)到固液分離的目的。

　　3、生物法：生物法可以達(dá)到去除部分的COD，從而提高B/C，主要是采用采用厭氧+好氧生物處理法的方式。

　　對(duì)于光刻膠工業(yè)的污水主要的污染物有樹脂合成物、生物難以降解物質(zhì)、有機(jī)物、石油類等，因此是不能直接排放于大自然中，但是不同的工業(yè)用的原材料是不一樣的，因?yàn)椴捎玫乃幚砉に囈彩遣煌摹?/span>