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青島泰斯邁儀器設備有限公司


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濺射臺CS-200

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產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地青島市

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更新時間：2021-08-31 15:06:16瀏覽次數：250次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：10條

所在地區：山東青島市

聯系人：張女士 （商務）

產品簡介

負荷鎖定型濺射裝置CS-200是支持從研究開發到小規模生產的負荷鎖定型濺射裝置

詳細介紹

產品特性：
 • 通過利用常規過程數據和專有技術重新設計了易用性
 • 通過在負載鎖定室中安裝暗盒機構（可選）來提高生產率
 • zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。
 • 支持堆疊/同時濺射多個陰極
 • 通過觸摸屏和配方輸入自動處理，節省了人工
 • 可以記錄數據

產品應用：
• 電極成膜/多層電極及同時成膜應用
• 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護膜等
• 用于電子零件和小規模生產的研發

產品特性：
 • 通過利用常規過程數據和專有技術重新設計了易用性
 • 通過在負載鎖定室中安裝暗盒機構（可選）來提高生產率
 • zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。
 • 支持堆疊/同時濺射多個陰極
 • 通過觸摸屏和配方輸入自動處理，節省了人工
 • 可以記錄數據

產品應用：
• 電極成膜/多層電極及同時成膜應用
• 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護膜等
• 用于電子零件和小規模生產的研發


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