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青島泰斯邁儀器設備有限公司


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PECVD設備

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具體成交價以合同協議為準

產品型號CC-200

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地青島市

聯系方式：張女士查看聯系方式

更新時間：2021-08-31 15:08:00瀏覽次數：292次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：10條

所在地區：山東青島市

聯系人：張女士 （商務）

產品簡介

Load-lock式Plasma CVD設備CC-200/400是小型的使用便利的可對應從研究開發到量產的設備。

詳細介紹

產品簡介：
Load-lock式Plasma CVD設備CC-200/400是小型的使用便利的可對應從研究開發到量產的設備。                                     

產品特性：
• 27.12MHz高密度等離子制程
 
• SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對應SiO2膜
 
• 以CF4+O2 Plasma實現腔體清潔功能
 
• 可對應有機EL（OLED）的低溫成膜用heater
 
• 使用Tray可搬送多種基板尺寸
 
• 通過使用真空Box實現C系列的間接連續制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）

產品應用：
• 功率器件

• LED、LD、高速device等化合物相關

• 有機EL（OLED）開發

• 太陽電池開發




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