Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器
為超純氣體系統提供的惰性和反應性氣體顆粒過濾。

可用的最清潔、的全金屬過濾器
獲得的鎳過濾膜具有的耐腐蝕性和與惰性氣體和反應性氣體的出色兼容性*
的外殼組件通過最小化焊接面積來消除除氣
全金屬結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提高設計效率并最大限度地降低工程成本
*不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
應用
Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和反應性氣體
產品規格
材料 濾芯 獲得的燒結鎳膜過濾器
 住房 電拋光 VAR 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子* 小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
易揮發的** H 2 O、O 2和 THC 的揮發性釋氣低于可檢測限（在室溫下通過 RGA 和 FID）
移除等級 ≥0.0015 微米
表面處理內部 ≤5 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2x10 -10  atm cc/秒。
 經過測試 1x10 -9  atm cc/秒。
運行條件 最大允許工作壓力（設計壓力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
 最大正向/反向壓差：35 bar (500 psid)
 最高工作溫度：惰性氣體 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蝕性和反應性氣體：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單 5年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數據
*顆粒清潔度符合 SEMASPEC 顆粒粉碎測試方法 (#93021511A-STD)
**揮發性清潔度符合 SEMASPEC THC 貢獻測試方法 (#90120396B-STD)、水分貢獻 (#90120397B-STD) 和氧氣貢獻 (# 90120398B-STD）。
零件號
Wafergard III NF 微型在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3L005NS2S1 1/8" Swagelok 壓縮接頭 50.8 毫米（2.00 英寸）
WG3NS5RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
WG3NSMFF2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）內螺紋入口/出口 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NSMFR2 1/4" 極化墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）內螺紋入口/外螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMJJ2 1/4" 對接焊入口/出口 28.4 毫米（1.12 英寸）
WG3NSMRF2 1/4" 極化墊片密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NSMSL2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 50.8 毫米（2.00 英寸）