KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統(tǒng)，由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成。

  混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。



設(shè)備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、裝飾等領(lǐng)域。

多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕

重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結(jié)的要求。

爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工

具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。

雙層內(nèi)膽爐殼，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，快速升降溫

整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度高達1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。

法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)

有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。

內(nèi)嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲，發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。

微電腦PID控制器，操作簡便

操作簡便，控溫精確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復(fù)雜的試驗過程，真正實現(xiàn)自動控制和運行。
爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。

真空系統(tǒng)采用高真空分子泵組，

性能可靠：整體型復(fù)合轉(zhuǎn)子，強度高、性能穩(wěn)定；
潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染。

可選配件：

質(zhì)子流量計×1	真空系統(tǒng)×1	射頻電源×1
氣煉石英爐管×1	真空法蘭×1	防燙罩×2
高溫手套×1	坩堝鉗×1	熱電偶×1
剛玉坩堝×2	爐塞×2	中文說明書×1

 1．實現(xiàn)烤箱/電爐的升溫、保溫、降溫工藝過程全自動。
 2．工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線，保存于觸摸屏內(nèi)，帶密碼保護功能，可一次性編制多條曲線。
 3．具備斷電記憶功能，查詢已完成的工藝階段。
 4．現(xiàn)場操作人員需要調(diào)用某條溫控曲線時，直接輸入曲線序列號即可調(diào)用該條曲線，簡單方便，杜絕錯誤發(fā)生。
 5．具備多組歷史數(shù)據(jù)記錄功能。
 6．具備同時顯示多段溫度及時間功能。

  1.制冷量達1800W，可選用環(huán)保冷媒；

  2.溫控精度可達±0.3℃；

  3.智能溫控器具有兩種溫控模式，適用于不同的使用場合；

  有多種設(shè)定和故障顯示功能；

  4.具有多種報警保護功能：壓縮機延時保護；壓縮機過流

  保護；水流報警；溫度超高/低報警；

  5.多國電源規(guī)格，CE、RoHS認證；

  6.長壽耐用，操作簡便；

  7.可選配加熱器和凈化水質(zhì)配置。