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KSZY-D16擴散爐恒溫槽5大特點如下:
◆采用高精度動態恒溫控制技術和SMT裝配技術,*恒溫波動度達±0.05℃,專門為半導體擴散爐配套。
◆ 提供單個源瓶、兩個源瓶、和四個源瓶的結構形式,適合不同的應用需求。
◆ 將源瓶與水介質*隔離的鐵氟龍隔離套,將任何泄漏事故引起的危險降低到zui低程度。
◆ 采用全封閉磁力泵循環攪拌,溫場均勻,*泄漏。通過將傳感器與循環泵液流的一體化設計,大大提高控溫精度和溫場均勻性。
◆ 液槽內膽、瓶源隔離套、電熱器和蒸發器等可能與工作介質接觸的部件采用不銹鋼材料,其中瓶源隔離套內壁經鐵氟龍處理,專門解決擴散爐應用問題。
KSZY-D16擴散爐恒溫槽技術參數:
型號 | |||
溫度范圍(℃) | +5~60(環境溫度≤40℃)、+15~+40(環境溫度≤60℃) | ||
溫度波動(±K) | ±0.05~0.1(環境溫度≤40℃)、±0.1~0.2(環境溫度≤60℃) | ||
顯示分辨(℃) | 0.1 | ||
加熱功率(W) | 600 | 600 | 600/1000 |
制冷量(W) | 250 | 300 | 350 |
內膽尺寸(mm) | 240*145D*220H(-S12) | 240W*120D*195H(-D10) | 240W*240D*195H(-Q10) |
源瓶尺寸(mm) | 100D*148H(-X10) 120D*168H(-X12) 160D*198H(-X16) | ||
源瓶隔離套 | 1個/不銹鋼,內壁防腐處理 | 2個/不銹鋼,內壁防腐處理 | 4個/不銹鋼,內壁防腐處理 |
外形尺寸(mm) | 300W*475D*300H(-S12) | 300W*450D*275H(-D10) | 375W*570D*300H(-Q10)345W*615D*300H(-Q12) |
壓縮機(W) | 150 | ||
制冷劑 | R134 a | ||
內膽材料 | 304不銹鋼,提供316L不銹鋼或鈦材的定制 | ||
外殼材料 | 優質冷軋鋼板靜電噴涂 | ||
工作方式 | 連續 | ||
輔助功能 | 數顯溫度校正,傳感器異常保護和報警,高溫保護和低溫報警,停電恢復,防干燒 | ||
電源 | 220V/50Hz |
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