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污水處理包括城市污水、工業污水與醫療污水的處理，主要目的為殺菌消毒、去除污染物質并脫色、除味以達到排放標準。近幾年由于水資源匾乏，行業主管部門制定了工業、生活污水回用的法規，提高了處理標準。
美國在本世紀七十年代初開始利用污水處理移動式臭氧發生器處理生活污水，其主要的目的為消毒并降低生物耗氧量(BOD)和化學耗氧量(COD)，去除亞酸鹽、懸浮固體及脫色，已達到全面生產應用的水平。日本則在缺水地區進行污水臭氧處理后作為非食用水(即中水)循環使用。
工業污水臭氧用來對電鍍含污水氧化、紡織印染污水脫色、精煉污水去酚、烷類物質等。美、日、德、法等國近年都建立了大規模的污水處理廠，我國?、印染行業也有試驗性應用。
對工業含酚、、有機氨、腈、基染料、有機磷、有機氯化合物等的廢水處理。用臭氧水處理污水，可使水中酚、甲醛含量降低98%。用臭氧水處理含有化物的水溶液時，化物濃度可從15mg/L降到0.25mg/L。
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